脉冲电源离子氮化炉-武汉离子氮化炉-湖北丰热科技公司(查看)

湖北丰热科技有限公司（原武汉离子热处理研究所），专业制造辉光离子渗氮炉的**企业；是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉，并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。

?选用正弦波中频靶电源，离子氮化炉装炉标准，由于波形的原因，武汉离子氮化炉，靶面产生打弧的几率更低并优于双极性矩形波中频靶电源。更适合于对薄膜表面和膜层质量要求较高的溅射工艺。??一般来说，射频辉光放电与直流及中频交流脉冲辉光放电相比，可以在低一个数量级的气体压强状态下进行(例如，1.0×1-2Pa)。??

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辉光离子渗氮的特点有：可节约能源和氨的消耗量，电能消耗为气体氮化的1/2～1/5，氨气消耗为气体氮化的1/5～1/20。易于实现局部氮化，只要设法使不欲氮化的部分不产生辉光即可1，脉冲电源离子氮化炉，非渗氮部位便于保护，采用机械屏蔽、用铁板隔断辉光，即可保护。

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工件放人炉内作为阴极，炉体作为阳极，再通人少量氨、氮或氮亚混合气体，然后在两较间施加一定电压使氮电离，氮电离后即以髙速冲击工件，离子的动能转化为热能将工件加热至渗氮温度。