湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),专业制造辉光离子渗氮炉的**企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
辉光放电进行渗氮的工艺,与气体渗氮相比渗入速度快。由于离子氮化法利用了离子化了的气体的溅射作用,因而可显著地缩短处理时间(离子渗氮的时间仅为普通气体渗氮时间的1/3~1/5)。
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一种化学热处理炉,尤其涉及一种新型多功能辉光离子渗氮炉。该辉光离子渗氮炉包括内隔热屏,在内隔热屏内壁上装有发热体,发热体与电极间采用螺栓联接,发热体与内壁由陶瓷绝缘体隔离绝缘,离子氮化炉,绝缘体由螺栓固定在隔热屏内壁上。
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在运行的射频辉光放电等离子体中,由于离子和电子迁移率的不同将导致阴极负偏压的形成,在阴极表面建立一个直流负偏压是进行射频溅射工艺的必要条件。两个面积相等的电极置于射频辉光放电等离子体中,不可能建立阴极靶表面的负偏压,不可能产生溅射。