湖北丰热科技有限公司(原武汉离子热处理研究所),专业制造辉光离子渗氮炉的**企业;是集研发、生产、销售安装辉光离子渗氮炉,并为用户提供成套的离子渗氮工艺技术服务。
当交流电压的频率较低(50HZ~5KHZ)时,工作气体起辉点火电压与直流放电时基本相同。当电压的频率增加到中频时,起辉点火电压比用纯直流靶电源时降低很多。??双极性脉冲中频靶电源,根据有无“串联电压调整”电路有分为“工艺型”和“经济型”两种。?
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辉光放电的主要应用是利用其发光效应(如霓虹灯、日光灯)以及正常辉光放电的稳压效应。在阴-阳极间加上直流电压时,腔体内工作气体中剩余的电子和离子在电场的作用下作定向运动,离子氮化炉,于是电流从零开始增加;当较间电压足够大时,所有的带电离子都可以到达各自电极,这时电流达到某一较1大值(即饱和值);??
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在运行的射频辉光放电等离子体中,由于离子和电子迁移率的不同将导致阴极负偏压的形成,在阴极表面建立一个直流负偏压是进行射频溅射工艺的必要条件。两个面积相等的电极置于射频辉光放电等离子体中,不可能建立阴极靶表面的负偏压,不可能产生溅射。